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标准号:DIN EN 62047-2-2007
现行有效 半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006)
标准组织:外国国家标准,德国标准 |
语种:德文 |
CCS分类: |
ICS分类: |
发布日期:2007-02-01 |
实施日期:2007-02-01 |
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