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标准号:EN 62047-2-2006
现行有效
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 2: Tensile testing method of thin film materials
标准组织:欧洲标准,欧洲电工标准化委员会 |
语种:英文 |
CCS分类: |
ICS分类:其他半导体器件 |
发布日期:2006-09-20 |
实施日期:2007-06-01 |
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