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标准号:DIN EN 62047-3-2007
现行有效 半导体器件.微电机设备.第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006)
标准组织:外国国家标准,德国标准 |
语种:德文 |
CCS分类: |
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发布日期:2007-02-01 |
实施日期:2007-02-01 |
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