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标准号:EN 62047-3-2006
现行有效 半导体器件.微机电设备.拉伸试验的薄膜标准试验片
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing
标准组织:欧洲标准,欧洲电工标准化委员会 |
语种:英文 |
CCS分类:微集成电路综合 |
ICS分类:其他半导体器件 |
发布日期:2006-09-01 |
实施日期:2006-09-01 |
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