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标准号:GB/T 14142-1993
作废 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
Test method for crystallographic perfection of epit-axial layers in silicon by etching techniques
标准组织:中国国家标准,中国国家标准 |
语种:中文 |
CCS分类:金属无损检验方法 |
ICS分类: |
发布日期:1993-02-06 |
实施日期:1993-10-01 |
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替代关系 :全部代替 |
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发布单位 : |
归口单位 :全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
起草单位 :峨眉半导体材料研究所 |
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出处 : |
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