中山市标准信息服务平台
首页
标准号:YS/T 24-2016
现行有效 外延钉缺陷的检验方法
标准组织:行业标准,有色金属行业标准 |
语种:中文 |
CCS分类:金属物理性能试验方法 |
ICS分类:金属材料试验 |
发布日期:2016-04-05 |
实施日期:2016-09-01 |
作废日期 :
|
被替代标准 : |
替代关系 :全部代替 |
作废日期: |
替代标准 : |
替代关系 : |
作废日期: |
被采用标准 : |
采用关系 : |
|
采用标准 : |
采用关系 : |
|
引用标准 : |
引用关系 : |
|
修改记录 : |
|
标准摘要 :本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。 本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于 4μm 的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。 |
发布单位 :工业和信息化部 |
归口单位 : |
起草单位 : |
起草人 : |
出处 :制造业 |
备注 : |
