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标准性质

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正文语种

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标准状态

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标准号:YS/T 15-2015

现行有效 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

标准组织:

行业标准,有色金属行业标准

语种:

中文

CCS分类:

金属物理性能试验方法

ICS分类:


发布日期:

2015-04-30

实施日期:

2015-10-01

作废日期 :

标准摘要 :

发布单位 :

工业和信息化部

归口单位 :

全国有色金属标准化技术委员会

起草单位 :

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人 :

马林宝、杨帆、葛华等

出处 :

制造业

备注 :