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标准号:GB/T 26251-2010
现行有效 氟及氟氮混合气
Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
标准组织:中国国家标准,中国国家标准 |
语种:中文 |
CCS分类:工业气体与化学气体 |
ICS分类:工业气体 |
发布日期:2011-01-14 |
实施日期:2011-05-01 |
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修改记录 : |
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标准摘要 : |
发布单位 : |
归口单位 :全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
起草单位 :中核红华特种气体股份有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、山东锐华氟业有限公司 、核工业理化工程研究院 、西南化工研究设计院 |
起草人 :杜伟华 、贺国武 、李建浩 、李春晓等 |
出处 : |
备注 : |
