标准号:GB/T 24574-2009
现行有效 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
标准组织:中国国家标准,中国国家标准 |
语种:中文 |
CCS分类:半金属与半导体材料综合 |
ICS分类:半导体材料 |
发布日期:2009-10-30 |
实施日期:2010-06-01 |
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标准摘要 : |
发布单位 : |
归口单位 :全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
起草单位 :信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
起草人 :李静 、何秀坤 、蔺娴 |
出处 : |
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