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标准性质

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标准号:GB/T 24574-2009

现行有效 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities

标准组织:

中国国家标准,中国国家标准

语种:

中文

CCS分类:

半金属与半导体材料综合

ICS分类:

半导体材料


发布日期:

2009-10-30

实施日期:

2010-06-01

作废日期 :

标准摘要 :

发布单位 :

归口单位 :

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位 :

信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人 :

李静 、何秀坤 、蔺娴

出处 :

备注 :