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标准号:NF EN 62047-2-2006
现行有效
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2 : tensile testing methods of thin film materials Dispositifs semiconducteurs. Dispositifs microectromaniques. Partie 2 : mhodes d'essais de traction des matiaux en couche mince
标准组织:外国国家标准,法国标准 |
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发布日期:2006-11-01 |
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