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标准号:NF EN 62047-3-2006
现行有效
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3 : thin film standard test piece for tensile testing Dispositifs semiconducteurs. Dispositifs microectromaniques. Partie 3 : rouvettes d'essai normalis en couche mince pour l'essai de traction
标准组织:外国国家标准,法国标准 |
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发布日期:2006-11-01 |
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