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标准号:DIN 50453-3-2001
现行有效 半导体工艺材料的试验.蚀刻混合剂浸蚀率的测定.第3部分:铝.测重法
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of etch rates of etching mixtures - Part 3: Aluminium, gravimetric method
标准组织:外国国家标准,德国标准 |
语种:德文 |
CCS分类:元素半导体材料 |
ICS分类:半导体材料 |
发布日期:2001-04-01 |
实施日期:2001-04-01 |
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