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标准号:DIN 50454-3-1994
现行有效 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶中错位腐蚀班点密度的测定.第3部分:镓磷化物
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the dislocation etch pits density in monocrystals of III-V-compound semiconductors - Part 3: Gallium phosphide
标准组织:外国国家标准,德国标准 |
语种:德文 |
CCS分类:化合物半导体材料 |
ICS分类: |
发布日期:1994-10-01 |
实施日期:1994-10-01 |
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