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标准号:DIN 50455-1-1991
作废 半导体工艺材料的检验.表示光敏抗蚀剂特性的方法.用光学测量法测定层厚
Testing of materials for semiconductor technology; methods for characterizing photoresists; determination of coating thickness with optical methods
标准组织:外国国家标准,德国标准 |
语种:德文 |
CCS分类: |
ICS分类:半导体材料 |
发布日期:1991-06-01 |
实施日期:1991-06-01 |
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